仪器名称 高真空激光热解系统
仪器介绍
组成:
（1）主真空室：无油真空环境，其极限真空≤1x10-5P，系统漏率≤1x10-12Pa·m3/s;DN200快速进样门为带视窗式，腔壁设置有两个观察窗观察样品。
（2）激光发生系统：由一台大型RFL-C6000X激光发生器与两台DAB100小型激光发生器组成，三台激光发生器组合使用可发生最高6000w的激光。
（3）实验控制监测系统：主要由PLC激光编程控制柜，超高温双比色测温计，HPR2O质谱仪，复合真空计，薄膜真空计组成。
（4）真空抽气系统：主要由半磁悬浮分子泵，涡旋式干泵，真空测量，真空阀门，真空管路组成。
（5）设备机架及电控集成：机架采用铝合金机架和一体式可移动脚轮;电气控制高度集成，安装在机架上，方便实验人员操作。
用途：
高真空激光热解系统可用于金属氧化物在高温高真空极端环境下的热分解过程机理研究；极端环境下金属氧化物烧蚀羽流分析
技术指标
（1）空载极限真空≤1x10-5Pa
（2）真空腔室内部尺寸:直径为400mm
（3） 激光功率：≤6000w
