邹星礼; 唐蔚; 庞忠亚; 施天宇; 汪淑娟; 鲁雄刚; 许茜。一种制备Ti-5Si-3高温合金膜的方法。2021年，CN201911064923.2。

摘要：

本发明公开了一种制备Ti-5Si-3高温合金膜的方法,属于冶金技术领域,其工艺步骤为：(1)采用无水氯化钙为熔盐电解质,二氧化硅以及二氧化钛为原料,氧化钙为助溶剂,形成电沉积系统；(2)以石墨片作为阴极,石墨棒作为阳极,在850℃恒电流/恒电压条件下电沉积制备Ti-5Si-3高温合金膜；(3)本发明可通过周期性加入二氧化硅以及二氧化钛原料,实现连续制备厚度可调的Ti-5Si-3高温合金膜。本发明可在较低温度(850℃)条件下,实现直接制备超高熔点高温合金致密膜/镀层,同时可通过改变电流密度、电沉积时间等参数来实现对薄膜厚度及微观形貌的控制。本发明方法具有流程短、能耗低等特点。